在第三代半导体赛道上,一家成立仅4年多的年轻企业,正以令人瞩目的速度完成从“小树”到行业新锐的蝶变,它就是2021年成立的山西天成半导体材料有限公司。短短几年间,天成半导体接连攻克6英寸、8英寸、12英寸乃至14英寸碳化硅单晶生长技术,完成了许多同行数年乃至更长时间才能走完的技术积累之路。
它是如何做到的?日前,记者走进这家企业,近距离剖析其技术跃升密码。
连续四次跨越
碳化硅行业门槛极高。大尺寸扩径、低缺陷控制、装备自研,每一道都是“硬骨头”。天成半导体选择了一条最难、但也最扎实的路:装备自主。
“我们一开始就摒弃了对外购设备的依赖。”天成半导体董事长刘洋告诉记者。2022年,初创团队自主搭建初代长晶装备体系,攻克基础热场结构设计难题,实现6英寸导电、半绝缘碳化硅单晶小批量试制。这是企业的第一次技术跨越,从设备概念到晶体产出,技术根基就此筑牢。
真正的跃升发生在2023年至2024年。企业迭代研发出第二代电阻式长晶炉,解决了热场均匀性、晶体应力开裂等行业共性难题,8英寸碳化硅长晶装备实现稳定量产,晶体厚度和良率达到商业化标准。由此,天成半导体构建起“装备+粉料+晶体加工”全链条自研体系,完成了从初创企业向量产型企业的转变。
2025年,企业迎来第三次突破。在行业主流仍聚焦感应炉技术时,天成半导体创新优化电阻炉工艺,打破大尺寸扩径瓶颈,先后研制成功12英寸N型导电碳化硅单晶和12英寸高纯半绝缘碳化硅单晶,晶体有效厚度突破35毫米,微管缺陷密度降至国际先进水平。这标志着企业同时补齐了功率器件和射频器件两大应用路线的技术能力,跻身国内少数掌握12英寸双路线成熟工艺的企业行列。
2026年,企业再次迈出一步,完成14英寸碳化硅单晶制备,有效厚度达30毫米。超大尺寸温场、流场控制的几何级增长难题,在校企协同攻关下被逐一破解。
四次关键技术跨越,步步打通产业卡点。从6英寸到14英寸,天成半导体的成长逻辑清晰可见:以装备自主迭代驱动尺寸升级,每一次技术突破都同步完成产业化落地。
技术市场双赢
技术领先不等于商业成功。天成半导体并非闭门研发的“小而美”企业。
记者了解到,企业依托自研的6英寸至12英寸碳化硅长晶设备,打造了“装备、耗材、晶体、工艺服务”一体化经营模式。自研长晶设备已实现商业化对外供货,8英寸、12英寸碳化硅衬底批量供应新能源、射频、AR光波导等领域客户。
在行业竞争日趋激烈的背景下,企业通过车规体系、欧盟设备认证拓宽准入渠道,订单规模稳步增长,营收结构持续优化。
“我们不是在实验室里做文章。”刘洋说,目前,天成半导体已在长晶装备国产化供给、大尺寸碳化硅衬底量产环节占据了实际份额。
值得关注的是,企业并未盲目对标头部巨头的产能规模,而是走了一条差异化突围之路。在多数企业扎堆6英寸、8英寸低端衬底领域打价格战时,天成半导体聚焦12英寸及以上大尺寸长晶装备技术研发,同时兼顾导电、半绝缘两大品类,深耕射频、AR光波导、高端功率器件等细分市场。
这种“专精特新”的路径,让企业避开了低端产能内卷的红海,精准切入产业缺口,实现了弯道突围。
企业园区共进
碳化硅是技术密集型产业,人才是根本支撑。
天成半导体的人才梯队建设颇有章法。企业初创时便集聚了多名行业资深博士组成创始核心团队,深耕长晶装备、热场设计、单晶工艺多年。依托博士创新站,引入高校多学科博士专家,形成高端攻坚智囊,接连完成8英寸至14英寸技术突破。
更为关键的是,企业并非只有“学术派”。团队创始及核心骨干中,有多名具备省外头部半导体企业从业经历的产业化人才,补齐了工程量产经验短板。
“高校科研团队主攻长晶机理、热场理论攻关,产业化人才聚焦工艺优化、良率提升与规模化生产。”刘洋介绍。企业通过项目联合攻坚模式,将基础理论研究融入车间量产环节,辅以常态化研讨、研发项目捆绑、收益共享机制,打通了理论研究与产业落地的壁垒。
与此同时,企业建立了项目激励机制,推动技术经验内部沉淀传承,避免技术依赖个别人员。这套立体化人才结构,既能持续攻克行业技术难点,又匹配企业产能扩张、市场拓进的节奏。
企业快速成长的另一重支撑,来自园区。中北高新区依托半导体专业镇产业布局,出台了研发奖励、技改补贴等专项政策,落实标准地、全代办服务,高效保障企业厂房建设、手续审批与产能扩建。园区搭建区校协同创新平台,助力企业对接科研资源,同时协助对接产业基金、拓展行业客源。
“政企双向助力,构筑起企业稳步进阶、区域产业提质的良性发展格局。”刘洋这样总结企业与园区的关系。
未来前景可期
完成从0到1的试产验证期后,天成半导体正加速推进产能规模化落地。
刘洋表示,下一步将依托自研长晶设备稳定产出大尺寸碳化硅衬底,拓宽新能源、射频、AR以及半导体零部件等优质客户渠道,扩大装备外销体量。同时完善内部成本管控,持续优化工艺提升良品率,推动技术成果快速兑现营收。
在研发规划上,企业的目标更为清晰:持续深耕12英寸量产工艺优化,降低晶体缺陷、提升量产良率;加速推进14英寸碳化硅工艺完善,抢占超大尺寸技术前沿;紧盯射频、AI、AR光波导高端需求开展定制化研发。
企业的长远目标是力争在碳化硅长晶装备与大尺寸衬底领域实现行业并跑,部分前沿技术达成领跑。
看得出,这家年轻企业正在用一次次技术突破证明:在第三代半导体这条赛道上,后来者同样有机会通过差异化创新走出属于自己的路。